成功案例 |格創東智OHT天車解決方案,打造頂尖國產自研半導體晶圓搬運系統
我國某重要的高端核心電子器件供應基地、半導體新器件新技術創新基地,為提升晶圓搬運效率,支撐半導體生產線的穩定、高效運行,決定建設半導體領域最先進的,具有自主知識產權、高效穩定、智能化程度高的國產自研晶圓搬運系統。
基于該基地的建設規劃及現狀,格創東智從生產效率提升、數據安全、緊密空間設計三個方面進行了詳細的方案設計,為其提供空中物料傳輸、人機協同、數據傳輸等整體解決方案 :
生產效率提升
通過天車部署安裝,覆蓋對接多機臺復雜工藝流程間的物料搬送,通過MCS進行全流程的物料自動搬送,彌補了傳統人工搬運在效率、失誤率、潔凈度等方面漏洞。
數據安全
針對客戶場景提供定制化網絡安全方案,保障客戶對天車運行數據、數據傳輸的穩定性、可行性、安全性。
緊密空間設計
系統方案包含自研OHT、OHTC、MCS、異形軌道等,整個AMHS系統包含搬運、通訊、存儲等眾多硬件裝備及其軟件,覆蓋整個半導體前道工序,充分考慮客戶在緊密空間下的物料搬運需求整體解決方案。
通過構建完整的晶圓搬運系統,格創東智幫助客戶在空間和設備利用、運送安全與效率、生產調度靈活性等方面取得了顯著成效:
1、為客戶提供天花板架設軌道、采用多層設計OHB結構,充分考慮客戶工廠不同工序間傳送路徑間的配合,優化天車傳送路徑,提高客戶整體空間使用率和設備使用效率。
2、極大地降低晶圓搬運過程搬運震動引發晶圓破損風險,搬運精度控制在±1mm以內,搬運過程載具振動值<0.5G,關鍵取放過程實施多重防護,為生產物料及時穩定安全運輸保駕護航。
3、有效整合MES、EAP、OHTC、OHT等軟件傳輸層的數據,充分考慮生產工藝過程物料運輸的最優路徑,有效避免擁堵,同時與FAB其他設備、軟件緊密協同,通過數字孿生技術實現對整廠搬運有效追蹤,為管理者提供了可靠、實時數據信息,同時增強了生產調度的靈活性和響應速度。

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