半導(dǎo)體公司采用歐姆龍的PLC和視覺(jué)傳感器通過(guò)對(duì)拉升零界點(diǎn)直徑的控制達(dá)到其工藝要求。 視覺(jué)傳感器采用F160-10E的控制器及F150-S1A普通型攝像機(jī)，其F150-S1A普通型攝像機(jī)設(shè)置于爐體上方，鏡頭對(duì)準(zhǔn)于零界點(diǎn)直徑（由于零界點(diǎn)直徑亮度較強(qiáng)，明暗對(duì)比度明顯，因此無(wú)需加光源，若對(duì)比度不明顯需加光源）。通過(guò)攝像機(jī)對(duì)物體的觀察把數(shù)據(jù)傳入F160-10E控制器特定的數(shù)據(jù)區(qū)內(nèi)，然后經(jīng)串行RS232通信線把數(shù)據(jù)傳入PLC的數(shù)據(jù)區(qū)，其通訊協(xié)議為Host Link協(xié)議進(jìn)行數(shù)據(jù)傳送。 PLC和視覺(jué)傳感器的通訊格式要一致。 若無(wú)需從傳感器中讀取數(shù)據(jù)，可直接使用外部的開(kāi)關(guān)量來(lái)進(jìn)行對(duì)視覺(jué)傳感器對(duì)其進(jìn)行控制。 海納單晶爐控制主要分為手動(dòng)控制，真空系統(tǒng)，回路控制，CCD直徑。手動(dòng)控制可分為晶轉(zhuǎn)(round/min)，晶升(mm/hour)，堝升(mm/hour)，堝轉(zhuǎn)(round/hour)。 晶轉(zhuǎn)由伺服電機(jī)+編碼器+伺服驅(qū)動(dòng)（200W）進(jìn)行恒定速度控制，堝轉(zhuǎn)由伺服電機(jī)+編碼器+伺服驅(qū)動(dòng)（200W）進(jìn)行恒定速度控制，晶升由伺服電機(jī)+編碼器+伺服驅(qū)動(dòng)（200W），編碼器每轉(zhuǎn)六圈，其晶升就上升一格（1厘米）。 堝升由伺服電機(jī)+編碼器+伺服驅(qū)動(dòng)（200W），編碼器每轉(zhuǎn)六圈，其堝升就上升一格（1厘米）。真空系統(tǒng)：顯示爐內(nèi)壓力，流量閥流量。 回路控制分為溫度控制，直徑控制，升溫控制，堝比控制。 溫度控制：當(dāng)打到手動(dòng)時(shí)，電加熱管的功率大小由設(shè)定功率來(lái)控制，即電加熱管由設(shè)定的功率來(lái)運(yùn)行。若打到自動(dòng)時(shí)，功率的大小由實(shí)際溫度來(lái)控制，即當(dāng)溫度上升到設(shè)定溫度時(shí)，其加熱管就由該溫度下的功率運(yùn)行。 直徑控制：當(dāng)打到手動(dòng)時(shí)，晶升速度有晶升速度設(shè)定值來(lái)控制，即晶升速度由設(shè)定晶升速度來(lái)運(yùn)行，若打到自動(dòng)時(shí)，晶升速度由實(shí)際直徑來(lái)控制，即當(dāng)視覺(jué)傳感器反饋回來(lái)的直徑達(dá)到設(shè)定的直徑時(shí)，其晶升速度就由該直徑下的速度進(jìn)行運(yùn)行。 升溫控制：自動(dòng)運(yùn)行下，晶升實(shí)際值和晶升期望值（根據(jù)工藝計(jì)算出來(lái)的理想值）來(lái)進(jìn)行比較。 堝比控制：通過(guò)對(duì)堝比的變化來(lái)進(jìn)行對(duì)堝升電機(jī)的控制，從而達(dá)到工藝要求，堝升=晶升*堝比。 CCD直徑：可進(jìn)行對(duì)視頻的轉(zhuǎn)化功能，從中可選用紅外線傳感器或視覺(jué)傳感器。 通過(guò)視覺(jué)對(duì)直徑（精度0.1）的數(shù)據(jù)記錄，然后反映到PLC中進(jìn)行工藝上的拉升控制。