在穩定的工況下，徑流臨界流噴嘴和被檢定流量計的氣體質量流量是相同的。

  檢定過程中，微機系統自動采集和處理臨界流噴嘴前的氣流滯止壓力和滯止溫度，計算出標準的氣體質量流量或累計流量，并按照相關的檢定規程，將它與采集到的被檢定流量計的指示值進行比較和計算，即可得到被檢定流量計在不同流量點的基本誤差和重復性誤差，從而實現對氣體流量計的檢定。

氣體音速噴嘴裝置由以下部分組成：

（1）2臺真空泵（一臺2800m³/h與一臺1000m³/h），總裝機容量達到6600m³/h，高出設備性能30%。

（2）1臺60m³/h的空氣壓縮機，配置溫壓緩沖罐，以保證裝置中氣動夾表器、氣動閥門的動力保證。

（3）裝置設計電總功率為185KW，動力配電采用變頻器啟動方式，以保證真空度的恒壓控制。

（4）基本管路采用304不銹鋼材料，以確保氣體的潔凈和裝置的耐用。五路檢定管徑分別是：DN50\DN80\DN100\DN150\DN200。

（5）超音速噴嘴采用316L不銹鋼加工，并由中國計量

西森并聯式氣體流量裝置由變頻風機（氣源）緩沖罐及管路，標準流量傳感器，工控機（計時器、數據采集系統）等組成。

并聯使用標準表的裝置是由數臺標準傳感器并聯組成，為方便核查標準表的準確性，標準表處留有備用接口，以方便用高精度的氣體流量計來隨時核查標準傳感器的準確度和校驗小口徑渦街傳感器使用，我們使用的是18.5KW高壓離心風機，為了穩定氣源的流量和壓力，此風機由一臺變頻器控制風機的轉速，最大測量流量為4500m³/h，氣體標準表法前后直管段均采用前25D后10D的設計，滿足了國家標準JB/T9294以及堅定規程JJG643的要求）。西森通過并聯使用標準表方式，幾臺有限測量范圍的標準流量計并聯代替大量程的單臺標準流量計，使用高精度低量限的標準流量計使得標準流量計的檢定蘇源問題得到根本簡化，根據此方式建立了一個比較測量系統，以標準流量計為標準器，使氣體在相同的時間間隔內連續通過標準流量計和被檢定的流量計，比較二者的流量計值，從而確定被檢定流量計的計量性能。