一、概述

    DFC系列氣體質量流量控制器/流量計(以下稱DFC/DFM)通過測量層流元件的差壓、壓力、溫度來計算流量，這種測量方式具有固有的線性,重復性好，高精度，無需預熱，溫漂小等特點。本產品可以同時測量4種參數：氣體的瞬時流量、累計流量、溫度和絕壓，并且可以同時顯示和輸出。
    雖然傳統的熱式原理不需經過溫壓補償即可以直接測量氣體的質量流量，但是熱式原理產品具有先天性的缺陷：長期加熱的工作模式產生的熱漂移，反應速度慢等缺點是不可避免的，而采用差壓原理的DFC/DFM幾乎無零點和溫度漂移，反應速度快，無需預熱，上電即可操作，解決了長期困擾客戶的問題。
    本產品廣泛應用于各類需精確檢測和控制氣體流量的設備上。本資料中的DFC系列是根據市場需求推出的以高精度和多功能為特色的普及型產品。

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流量計算機

二、原理及性能

    原理:
      ●傳感器: 溫度、壓力、差壓三支傳感器
      ●響應時間: DFM:10毫秒;  DFC:100毫秒
      ●顯示屏: 標準  內置
      ●預熱: 無需預熱
      ●熱漂移: 無
      ●累計流量: 標準內置 不限顯示位數
      ●輸出信號: 質量流量、體積流量、溫度、壓力
      ●轉換系數: 測量空氣氮氣以外的氣體時，轉換系數準確
      ●氣體測量: 可從內置菜單中選擇30種氣體
      ●精度: ±0.8%F.S讀數，±0.4%F.S可選
      ●長期穩定性: ±0.1%F.S/年