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Epson Toyocom 高性能水晶絕對壓力傳感器

Epson Toyocom 高性能水晶絕對壓力傳感器

產品簡介：

Epson Toyocom公司，作為水晶元器件產品的領導者，開發出小型，高性能的水晶壓力傳感器，采用獨創的QMEMS(*1)技術制造出的壓力傳感結構，以此開發出具有±10帕(*2)（約一萬分之一氣壓(*3)）的高精度與0.1帕的高分辨能力(*4)的高性能且體積為12.5ml、重量為15g的小型水晶絕對壓力(*5)傳感器。

產品分類：

物聯網 儀器儀表 壓力儀表 現場儀表 感知層 壓力變送器 壓力傳感器

品牌：

產品介紹

Epson Toyocom公司(總經理:宮澤　要)，作為水晶元器件產品的領導者，開發出小型，高性能的水晶壓力傳感器，采用獨創的QMEMS(*1)技術制造出的壓力傳感結構，以此開發出具有±10帕(*2)（約一萬分之一氣壓(*3)）的高精度與0.1帕的高分辨能力(*4)的高性能且體積為12.5ml、重量為15g的小型水晶絕對壓力(*5)傳感器。


壓力傳感器在通常情況下存在下述技術課題：小型化時會造成性能下降；追求高性能時又不得不增大構造。


Epson Toyocom在壓力檢測單元中采用音叉型晶體單元，由此可以得到安定度高的振蕩頻率，從而實現了具有高精度及高分辨能力的水晶壓力傳感器。


在此之上又使用QMEMS技術新開發出獨創的壓力傳感構造，使同時具有小型及高性能——這兩種相對性能的產品的實現變為可能。


為此，可以下述領域(例如：氣象或安全方面)為代表，在使用壓力傳感器的各種儀器的小型化及性能提高上做出巨大貢獻。
■ 用于氣象觀測中大氣壓的高精度測試
■ 用于大氣壓變化的高低差(以約1cm為單位的高度)的測試
■ 用于測試室內門窗等開關而造成的微小的內部壓力變化


而且是通過搭載于周圍機器，可應用于高精度氣壓測試等新領域的可行性的產品。


現在，Epson Toyocom正將本產品所采用的獨創的壓力傳感構造不斷推廣到其它能夠適用于各種用途的水晶壓力傳感器的開發上，今后亦將不斷推進使用基于QMEMS技術的超精微加工技術、晶體振蕩器中醞釀出的高安定振蕩電路技術以及高精度檢測技術的進化，創造出更高程度的高性能化和小型化。


【主要規格】 
項目 規格
壓力檢測范圍 50 ～ 150 kPa （絕對壓力）
綜合壓力精度 ±10 Pa
分辨能力 0.1 Pa
工作溫度范圍 -20 ～ +70 ℃
輸出接口 RS-232C
外部尺寸規格 25 × 25 × H20 mm（固定部分除外）
【用語說明】
(*1) QMEMS
是由具有高穩定、高精度等優越特征的石英材料「QUARTZ」和「MEMS」（精微加工技術）組成的合成詞。與以半導體為材料的MEMS相對應,以石英為原料進行精微加工,提供小型化、高性能的晶體元器件被稱為「QMEMS」。
QMEMS是Epson Toyocom的注冊商標。

(*2) Pa（帕）
表示壓力的國際單位。高低差出現10cm的變化時，氣壓隨之出現約1Pa的變化。

(*3) １氣壓
相當于在1cm2的海面上施加約1kg的力。

(*4) 分辨能力
傳感器或裝置等能夠測量或識別的能力。

(*5) 絕對壓力
以絕對真空為基準的壓力值。
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