當(dāng)前頁面：首頁 >新聞中心 >新品速遞 >KEYENCE基恩士推出SI-F80R系列分光干涉式激光位移計

KEYENCE基恩士推出SI-F80R系列分光干涉式激光位移計

供稿：基恩士（中國）有限公司 2011/10/14 15:44:24
0 人氣：--

－－>

產(chǎn)品索引

分光干涉式晶片厚度計

采用近紅外 SLD，即使已貼附 BG 帶也可測量晶片本身的厚度。即使晶片表面存在由于圖案而產(chǎn)生的顯著差異，也可實現(xiàn)準(zhǔn)確的生產(chǎn)線上測量。

產(chǎn)品特性

精確的只測量晶片厚度

關(guān)于本產(chǎn)品的詳細內(nèi)容，請使用右上方的圖標(biāo)下載目錄后確認(rèn)。

SI-F80R 系列使用近紅外 SLD，可穿過硅、砷化鎵、碳化硅、磷化銦、非晶硅及其它半導(dǎo)體。即使晶片已封上 BG（背磨）膠帶，也可精確測出晶片厚度。

幾乎不受晶片圖案的影響

關(guān)于本產(chǎn)品的詳細內(nèi)容，請使用右上方的圖標(biāo)下載目錄后確認(rèn)。

通過減小光點直徑和光點內(nèi)的表面相差，可最大限度的減少晶片表面圖案的變化和測量警報的發(fā)生次數(shù)。

之前的所有問題迎刃而解

關(guān)于本產(chǎn)品的詳細內(nèi)容，請使用右上方的圖標(biāo)下載目錄后確認(rèn)。



[傳統(tǒng)方式] 接觸式測量		使用兩個傳感器一上一下不接觸晶片進行測量


• 測量時可能會損壞晶片。 • 傳感器將測量包括 BG 膠帶在內(nèi)的高度，一旦膠帶厚度發(fā)生變化，整個結(jié)果就會出現(xiàn)誤差。		• 很難在一條直線上對齊兩個傳感器的光軸。 • 傳感器將測量包括 BG 膠帶在內(nèi)的厚度，一旦膠帶厚度發(fā)生變化，整個結(jié)果就會出現(xiàn)誤差。



緊靠生產(chǎn)線進行簡單精確的測量		在生產(chǎn)線中持續(xù)監(jiān)控


• 只需將傳感器放在距離晶片 80 mm 的位置，即可輕松進行測量。 • 不接觸晶片，避免晶片損傷。 • 傳感器可直接只測量晶片厚度，因此測量不受 BG 膠帶的影響。		• 小巧的傳感頭可安裝在距離晶片 80 mm 的位置，因此可在拋光的同時在設(shè)備內(nèi)部持續(xù)監(jiān)控晶片厚度。

相關(guān)產(chǎn)品請下載：

更多內(nèi)容請訪問基恩士（中國）有限公司（http://c.gongkong.com/?cid=44538)

(0) (0)

非我所需，在本站搜索一下

HBM PW27 無菌灌裝稱重傳感器蘭寶 CE10 管道型液位傳感器 INTACTON - 映特動光學(xué)運動傳感器 OP... SICK OLM 線性距離測量傳感器德國 SI 光幕式激光顏色傳感器 SI-COL... WAYCON SX50/SX80/SX120 拉繩位移傳... 西門子 SITRANS WS100皮帶秤速度傳感器... 蘭寶 CE07 塑料方形電容式傳感器

Ecotter 傳感器接近開關(guān) PF-06 系列產(chǎn)... Banner R58三色光源的專家型色標(biāo)傳感器... 天為 FOTEK陽明 dm-1mn 傳感器說明書天為陽明M18-C管狀系列光電傳感器選型... Ecotter GY-18系列光電傳感器說明書濟南開思科技拉線位移傳感器選型樣本 ABB EIB傳感器選型手冊 IC-Haus iC-MA磁性傳感器（Magnetic Se...