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輪胎壓力傳感器敏感元件的設計與研制

輪胎壓力傳感器敏感元件的設計與研制

2009/7/31 12:25:00
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    美國的NHTSA已出臺的TREAD法規引起新一輪汽車壓力傳感器應用高潮和TPMS產品的開發熱潮。為了該產品的國產品種開發設計,我們研制出了一種輪胎壓力傳感器芯片,它是采用基于MEMS技術的硅體微機械加工技術制造的,采用硅—硅真空鍵合大大縮小單元尺寸,有利于降低成本。已


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