TELEDYNE DALSA MEMS應用-微鏡
- 關鍵詞:Teledyne,DALSA,微鏡
- 摘要:在制造高性能的靜電微鏡方面,Teledyne DALSA擁有無與倫比的經驗。 微鏡器件已經廣泛應用于電信系統中的VOA或WSS功能,以及在微型投影儀的激光束轉向應用。
MEMS應用
從手機的RF芯片,通訊光交叉連接到游戲控制器的陀螺儀,汽車壓力傳感器和用于汽車的慣性傳感器到小型化的醫療系統用的微流體器件,Teledyne DALSA都已經量產,并且為這些創新的MEMS應用提高性能的同時降低尺寸和功耗。聯系我們,討論MEMS制造的挑戰 Contact us today to discuss your MEMS fabrication challenges.
MEMS應用: 壓力傳感器 運動傳感器 BioMEMS 微鏡 硅通孔 射頻MEMS
微鏡
>>光學MEMS,應用于電信或者其他更多領域
微鏡制造
在制造高性能的靜電微鏡方面,Teledyne DALSA擁有無與倫比的經驗。 微鏡器件已經廣泛應用于電信系統中的VOA或WSS功能,以及在微型投影儀的激光束轉向應用。微鏡的制造中的關鍵技術,包括SOI設備層轉移和體微機械加工,其中為確保一致的鏡偏轉,極其嚴密的單晶硅層控制是必要的,當然,高品質的鏡面金屬沉積也是關鍵。此外因為反射鏡面上單獨一顆粒子的存在就可降低微鏡的光學品質,污染來源也是被嚴格控制的。我們已經開發了電子光學測試程序,確保每片晶圓(或者每個器件,如果需要)符合產品規格。
微鏡驅動
我們參與制造的微鏡陣列的經驗是我們認識到,市場上沒有現成的微鏡陣列驅動和控制的解決方案可以滿足現有不同產品和應用的需求,所以我們自己設計了使用Teledyne DALSA高壓CMOS技術生產的驅動和控制ASIC。它們是240V, 96 通道的 DH9685 (數字)和 DH9665 (模擬)。我們的工程師團隊也可以為客戶設計完全訂制的高壓ASIC驅動和控制電路,來滿足客戶在微鏡和其他MEMS應用的需求。 More information: |
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