在半導體行業飛速發展的當下，智能制造已成為推動產業升級的關鍵力量。隨著全球對芯片需求的持續增長，半導體制造企業面臨著如何在提升生產效率的同時實現資源高效利用與可持續發展的挑戰。

作為行業領先的傳感器解決方案供應商，ifm易福門憑借創新技術與智能化應用，為半導體制造的各個環節提供了卓越的解決方案，助力企業優化生產流程、降低運營成本。

特別是在Sub-fab（工廠輔助設施）流程中，自動化技術的應用正逐漸成為提升效率與可持續發展的關鍵。今天，讓我們深入探討ifm如何通過創新解決方案，助力這一領域實現降本增效。

一、化學品輸送系統（CDS）

化學品被廣泛用于半導體生產的多個階段，如沉積、光刻膠涂覆、光刻、蝕刻、清洗、薄膜沉積和拋光。為確保化學品的純度，非接觸式液位測量被廣泛用于檢測化學品液位。電容式測量技術只需進行簡單的空罐調整并輔以實現理想設置的顯示指南，就能克服管道或儲罐壁上的氣泡或附著物所帶來的挑戰。

?KQ10系列 連續性監控液位傳感器：該系列傳感器可安裝在非金屬儲罐外壁，實現料位監測。其配備的清晰可見的LED百分比顯示，使用戶能夠輕松掌握液位變化。此外，它還提供三個點料位監測位置，可靠區分空載、滿載和溢流狀態。

?KI60系列 電容式接近開關：該系列開關可在介質內或介質外運行，透過非金屬儲罐壁進行檢測，有效抑制沉積物的影響。結合IO-Link技術，將點液位檢測系統升級為實時液位狀態監測，為企業提供更精準的化學品管理。

二、設備健康管理：通過預測性維護提升設備可用性

在半導體制造過程中，真空系統是維持無菌環境的關鍵支持系統，干式真空泵的穩定運行至關重要。ifm通過振動監測、流量監測和溫度監測，為設備健康管理提供了全方位的解決方案：

1.基于振動監測的預測性維護：ifm振動傳感器（VSA） 和振動分析模塊（VSE） 可實時監測泵的健康狀況，防止增壓泵和干泵發生災難性故障。通過監測沖擊、疲勞、摩擦、嚴重程度和溫度等五個方面的機器問題，以及滾動軸承等特定部件，傳感器能夠提前檢測到即將發生的故障，減少計劃外停機時間，實現能源優化。

2.通過持續監測流量確保適當的冷卻效果：冷卻水用于散發泵內壓縮過程中產生的熱量。ifm的SU超聲波流量計 采用無機械部件的設計，提供高精度測量，最大限度地減少壓降，確保冷卻工藝的高效運行。

3.通過連續測量溫度保持泵的功能：泵的外殼溫度升高通常表明摩擦增加，可能導致泵故障。ifm的TP  + TS 分體式測溫方案可對泵體表面溫度進行實時監測，避免因溫度異常導致的停機時間。

通過IO-Link技術，所有傳感器采集的數據可實時發送到更高層級的軟件系統，實現趨勢預測和分析，為企業提供實時的設備健康監測。

三、超純水系統的智能化管理

超純水是半導體生產中的關鍵資源，因為即使是微小的雜質也會導致重大的生產損失，導致數百小時的半導體晶圓生產無效。ifm為超純水系統的各個環節提供了智能化監測解決方案：

1.通過電導率測量確保水質：ifm的LDL電導率傳感器 是一種高性價比的解決方案，能夠實時監測水中低至0.04μS/cm的電導率，確保供水系統的穩定和高效運行，指導凈化工藝的調整。

2.超純水出水管 | 產出流量監測：SU Puresonic超聲波流量傳感器 采用超聲波技術，可精確測量高達1000L/min的超純水流量，并集成溫度測量功能，提供高度準確的在線測量過程，確保工藝的一致性和產品質量。

3.通過高準確度液位測量改善水的分配：ifm的LW非接觸式雷達液位傳感器 采用80 GHz測量技術，可對高達10米的儲罐進行高精度測量（±2 mm），確保資源的可用性、防止干轉并優化水的利用率，避免因液位監測不準確導致的系統故障。

此外，ifm傳感器產品在晶圓加工、CMP工藝以及內物流都有廣泛應用。

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